硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响

• 作者: 傅朝坤 康志成 李克林 汪建华 满卫东 王传新 王升高 马志斌
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硬质合金 HFCVD 金刚石薄膜 Ti过渡层
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 1048-1051
• 页数: 4页
• 分类号: TQ163
• 字数: 1530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.037

摘要

以WC-6%Co为基体,采用磁控溅射法,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜.研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响.结果表明,在700℃左右的低温碳化,TiC结构致密,而在850℃左右的高温碳化,TiC呈疏松的多孔组织,在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层.在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力.