二维金属光栅的矢量模式研究

• 作者: 石建平 秦涛 陈旭南
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二维金属光栅 矢量模式 反射透射系数阵
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 二元光学
• 页码范围: 14-16,36
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 1898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.06.004

摘要

用矢量模式场来描述二维金属光栅各层中的电磁场.由边界条件,推导出模式场方程组;借助反射透射系数阵递推算法,得出了方程组的解.这种矢量模式方法物理概念清晰且稳定收敛,可以处理任意偏振态平面波入射到二维亚波长金属光栅中的衍射问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭南	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	39	212	9.0	13.0
2	石建平	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	19	73	5.0	8.0
3	秦涛	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	21	149	8.0	11.0