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前段工艺竞争激烈半导体设备业前景不一
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半导体及集成电路工艺加工设备的调研与采购
调研与采购
需求
设备费用
技术能力
服务与技术支持
商务模式
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半导体及集成电路工艺加工设备的运行管理与技术维护
运行管理
技术维护
出厂前检验
安装与调试程序
保修期
半导体工艺新发展概述
半导体工艺
应变硅
栅介质
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SiC半导体材料和工艺的发展状况
碳化硅器件
器件工艺
半导体材料
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电子测试
主办单位：
北京自动测试技术研究所
出版周期：
半月刊
ISSN：
1000-8519
CN：
11-3927/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市100098－002信箱
邮发代号：
82-870
创刊时间：
1994
语种：
chi
出版文献量（篇）
19588
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63
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