不同沉积工艺下TiN涂层金属学特性的研究

• 作者: 周兰英 王永峰 郎平
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiN涂层 残余应力 晶粒度 点阵参数
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 3107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2004.01.010

摘要

采用不同沉积工艺得到的TiN涂层高速钢的物相主次不同;涂层宏观残余应力呈压应力状态,应力状态主要与膜/基材料的热力学性能的差别有关;不同沉积工艺得到的TiN涂层高速钢的晶粒度约0.1μm,其对涂层的耐磨性影响不大,微观残余应力对耐磨性起了很大作用;不同沉积工艺得到的TiN涂层的点阵参数偏大,这主要是由涂层的微观残余应力和原子置换引起的;摩擦学实验表明以(111)晶面择优取向的试样的耐磨性最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兰英		26	335	11.0	18.0
2	郎平		6	36	3.0	6.0
3	王永峰		2	17	2.0	2.0