用掩蔽注入法研究钛注入H13钢的耐磨性

• 作者: 张通和 杨建华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 钛离子注入 金属蒸汽真空弧 卢瑟福背散射 掠面x射线衍射
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3823-3828
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 4852字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.11.037

摘要

采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钛、碳离子对H13钢进行表面改性研究.钛和碳离子注入剂量分别为3×1017和1×1017 cm-2,引出电压分别为48和30kV,平均束流密度分别为47和20μA·cm-2.为了保持相同的摩擦磨损实验条件,注入过程中采用掩蔽注入技术.摩擦磨损实验结果表明,钛离子注入H13钢提高了其耐磨性,并大幅度降低其摩擦系数.利用卢瑟福背散射谱测量了离子注入表面的成分,并采用逐层递推法得出了钛在H13钢中的浓度深度分布,借助掠面x射线衍射考察了注入表面的相结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张通和	北京师范大学射线束和材料工程教育部重点实验室	49	1052	11.0	32.0
2	杨建华	南通工学院物理部	19	52	4.0	7.0