纳米硅制备过程中微结构与反应气体流量之间的关系研究

• 作者: 刘英才 初蕾 尹衍升 李嘉 李静
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米硅 激光诱导化学气相沉积法 晶体生长 微结构
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 页码范围: 644-646
• 页数: 3页
• 分类号: TG156
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.037

摘要

利用LICVD方法制备了纳米硅颗粒.研究了不同反应气体流量条件下,纳米硅微结构的转变规律,分析了制备工艺参数对纳米硅微结构的影响机制.研究表明,在激光功率密度恒定条件下,随着反应气体流量的增加,所制备纳米硅颗粒的尺寸逐渐变小,微结构中非晶态比例随反应气流的增加而增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李静	山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室工程陶瓷山东省重点实验室	218	1773	24.0	35.0
2	尹衍升	中国海洋大学材料科学与工程学院	126	1834	23.0	35.0
4	李嘉	山东大学材料液态结构及其遗传性教育部重点实验室工程陶瓷山东省重点实验室	22	305	10.0	17.0
7	刘英才	中国海洋大学材料科学与工程学院	26	148	8.0	11.0