元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用

• 作者: 周再发 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 元胞自动机 工艺仿真 微加工技术 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 3057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.04.025

摘要

随着计算机技术的发展和MEMS(micro-electro-mechanical system)自身发展的需要,应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的研究发展迅速.首先,简要介绍了元胞自动机原理,然后,综述了元胞自动机方法在MEMS工艺模拟中的应用现状,分析了应用元胞自动机方法模拟MEMS加工工艺的前景和方向.