自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究

• 作者: 何振江 傅强 杨冠玲 黄佐华
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 消光法 光度法 膜厚 精确度
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5|TH774.3
• 字数: 2332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2004.04.009

摘要

根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪.本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄佐华	华南师范大学物理系	63	586	13.0	22.0
2	何振江	华南师范大学物理系	74	867	18.0	26.0
3	杨冠玲	华南师范大学物理系	73	689	16.0	22.0
4	傅强	华南师范大学物理系	2	65	2.0	2.0