热处理参数对溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜特性的影响

• 作者: 刘坤 叶志镇 向因 季振国 宋永梁 王超
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 光致发光
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 636-639
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.02.057

摘要

采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜,并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构,其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系.当热处理温度小于550℃时,氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,而可见波段的发射很弱;当热处理温度高于550℃时,可见波段发射明显增强.对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明,氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系,时间过短可见波段的发射较强,但时间过长会导致晶粒发生团聚,导致紫外发射峰强度减弱.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	刘坤	浙江大学硅材料国家重点实验室	12	201	6.0	12.0
3	王超	浙江大学硅材料国家重点实验室	77	1026	15.0	30.0
4	向因	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	67	4.0	8.0
5	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
6	宋永梁	浙江大学硅材料国家重点实验室	6	138	5.0	6.0