通信领域中的MEMS器件及发展动态

• 作者: 张万里 彭斌 蒋洪川 谌贵辉
• 来源期刊: 电讯技术
• 学科: 工学
• 关键词: 无线通信 光纤通信 微电子机械系统 微光机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题述评
• 页码范围: 19-24
• 页数: 6页
• 分类号: TN4|TN8
• 字数: 3022字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-893X.2004.02.004

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS器件如MEMS电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS器件的原理、结构和发展概况,指出了MEMS器件发展所面临的问题和方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学微电子与固体电子学院	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	87	638	12.0	21.0