一种新型磁场MWECR-CVD和氢化非晶硅薄膜制备

• 作者: 刘毅 吴越颖 宋雪梅 张文理 殷生毅 王青 邓金祥 陈光华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR-CVD 永磁体 磁场 氢化非晶硅
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 530-534
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.05.010

摘要

为了简化多电磁线圈MWECR-CVD装置,提出将单个电磁线圈和一个永磁体单元组合,以形成所需的新型磁场.这一磁场可使等离子体集聚于样片台上方,显著提高了等离子体的能量密度.应用这种新型磁场的MWECR-CVD装置沉积氢化非晶硅薄膜,与采用单电磁线圈或双电磁线圈时相比,薄膜沉积速度大幅度提高,沉积速度达到采用传统RF-PECVD装置时的数倍至十倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘毅	北京工业大学材料科学与工程学院	29	166	7.0	12.0
2	陈光华	北京工业大学材料科学与工程学院	65	396	11.0	16.0
3	吴越颖	北京工业大学材料科学与工程学院	4	23	3.0	4.0
4	王青	北京工业大学材料科学与工程学院	9	103	4.0	9.0
5	张文理	北京工业大学材料科学与工程学院	3	12	3.0	3.0
6	宋雪梅	北京工业大学材料科学与工程学院	44	498	11.0	21.0
7	殷生毅	北京工业大学材料科学与工程学院	1	3	1.0	1.0