利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究

• 作者: 杨晓飞 韩昌元
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离轴非球面 计算机辅助装调 零位补偿法 灵敏度矩阵
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 532-534
• 页数: 3页
• 分类号: TB133|TG806
• 字数: 1941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2004.05.004

摘要

通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测.先用光学设计软件Zemax从理论上分析了在检测中会出现的现象,并结合计算机辅助装调技术,确定在检测过程中相对敏感的自由度,然后控制这些量,使补偿器和非球面的相对关系与理论设计相吻合,在Zygo相位干涉仪上测得最终结果.在λ=632.8nm时,中心圆口径与两个边缘圆口径面形误差RMS分别为0.022λ,0.037λ,0.032λ.检测结果,达到预期目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩昌元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	36	791	17.0	27.0
2	杨晓飞	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	132	6.0	11.0