2002～2003年集成电路与专用设备发展状况

• 作者: 关白玉
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 集成电路制造技术
• 页码范围: 54-57
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 5726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.03.015

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	关白玉	信息产业部信息产品管理司集成电路处	3	1	1.0	1.0