直线度的高精度测量

• 作者: 尹自强 李圣怡 王卓
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: 直线度 直线运动误差 测量 误差分离方法 重构
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 自动化测试
• 页码范围: 110-113,128
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4598.2004.02.004

摘要

提出采用两个测头加一个自准直仪的测量装置进行直线度的测量,误差分离技术采用"自然延拓"的方法从测得的差分值中重构工件轮廓,这种频域方法适应光滑和粗糙表面的测量,并允许采用大的测头间距.通过采用该测量系统和误差分离技术就可以高精度测量直线度.仿真结果表明该测量方法具有很高的重构精度,并采用该方法对自制的大理石超精密机床的直线度进行了检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	尹自强	国防科技大学机电工程与自动化学院	26	259	9.0	15.0
3	王卓	国防科技大学机电工程与自动化学院	6	59	3.0	6.0