微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

• 作者: 曲大成 高世桥
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 文学
• 关键词: 微机电系统 MEMS 微机械加工 智能控制
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 高技术
• 页码范围: 17-21
• 页数: 5页
• 分类号: H TP TM O3
• 字数: 7156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7857.2004.04.005

摘要

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统.其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用.本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高世桥	北京理工大学机电工程学院	58	376	9.0	18.0
2	曲大成		1	112	1.0	1.0