测量超微物质的新量具

• 作者: 余家驹
• 来源期刊: 辽宁科技参考
• 学科: 工学
• 关键词: 刻度 测量量具 测量精度 半导体晶片
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 页码范围: 16
• 页数: 1页
• 分类号: TB383

摘要

在纳米技术领域里，十亿分之一米的差距是相当大的，如果没有精准的量具，工程师们对此往往甚感头痛。最近，麻省理工学院的科学家们研制成功的“世界上最精密的量具”——其刻度为数千亿分之一米——能快速在半导体晶片上将无数线格和间距描摹出来。