沉积态(Fe88Zr7B5)0.97Cu0.03软磁合金薄膜的磁性和巨磁阻抗效应

• 作者: 刘宜华 王文静 萧淑琴 陈卫平
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Fe-Zr-B-Cu非晶薄膜 软磁性能 趋肤效应 巨磁阻抗效应
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 页码范围: 1295-1298
• 页数: 4页
• 分类号: TG139|TG132.271
• 字数: 3729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2004.12.013

摘要

采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了(Fe88Zr7B5)0.97Cu0.03非晶软磁合金薄膜样品,对沉积态样品的软磁性能和巨磁阻抗(GMI)效应进行了实验研究与机理分析.结果表明,未掺Cu元素的Fe88Zr7B5沉积态合金薄膜几乎无GMI效应,而掺了适量Cu元素的(Fe88Zr7B5)0.97Cu0.03合金薄膜在沉积态下即具有显著的GMI效应.在13 MHz频率下,最大纵向磁阻抗比达17%,最大横向磁阻抗比为11%,这表明(Fe88Zr7B5)0.97Cu0.03非晶合金薄膜在沉积态已具备优异的软磁性能和巨磁阻抗效应.同时讨论了该薄膜样品的巨磁阻抗效应随频率的变化特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宜华	山东大学物理与微电子学院	39	186	7.0	11.0
2	王文静	山东大学物理与微电子学院	12	18	2.0	3.0
3	萧淑琴	山东大学物理与微电子学院	13	99	5.0	9.0