钽件专用离子渗氮设备研制

• 作者: 付青峰 周喆 张德元 曾卫军 陈智琴
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 钽件 离子渗氮 设备
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 设备
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TG156.8
• 字数: 1534字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2004.03.015

摘要

针对精密钽制零件表面渗氮的特殊要求,通过炉内阴极面积可调的结构设计,研制了温度可达850℃,压升率低于0.0045Pa/min的钽专用离子渗氮炉.将阴极分成若干独立部分,单独将某些部分接入负偏压用作辅助阴极,也可将其中某些部分接入零电位用作辅助阳极,也可保持悬浮电位,只用作隔热屏,将等离子体参数和温度、阴极电流和电压施行独立调控.通过工艺试验,成功地实现了精密钽件的离子渗氮,获得了高硬度、低粗糙度的渗氮层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾卫军	江西省科学院应用物理研究所	32	130	6.0	10.0
2	付青峰	江西省科学院应用物理研究所	44	121	6.0	8.0
3	周喆	江西省科学院应用物理研究所	10	21	3.0	4.0
4	陈智琴	江西省科学院应用物理研究所	5	11	2.0	3.0
5	张德元		2	1	1.0	1.0