Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究

• 作者: 佟立国 兰伟 朋兴平 王印月 谭永胜
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 Cu掺杂 光致发光谱 射频反应共溅射
• 年，卷（期）: 2004,（8）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2705-2709
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.08.051

摘要

通过射频反应溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱中均观察到435 nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与Cu掺杂量和溅射功率有关.当溅射功率为150 W,Cu掺杂量为2.5%时,ZnO薄膜的PL谱中出现了较强的蓝光双峰,而溅射功率为100W,Cu掺杂量为1.5%时,出现了位于437 nm(2.84 eV)处较强的蓝光峰,后者的取向性较好.还研究了掺杂量和溅射功率对发光特性的影响,并对样品的蓝光发光机制进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朋兴平	兰州大学物理系	10	188	7.0	10.0
2	谭永胜	兰州大学物理系	3	88	3.0	3.0
3	王印月	兰州大学物理系	39	567	15.0	23.0
4	兰伟	兰州大学物理系	15	168	6.0	12.0
5	佟立国	兰州大学物理系	1	71	1.0	1.0