帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

• 作者: 张众 李佛生 杜芸 王利 王占山 王洪昌 秦树基 陈玲燕
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 反射率 帽层 极紫外
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2368-2372
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.07.065

摘要

介绍了在极紫外波段,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作.计算了在13.9nm波长处Mo/Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率,利用单纯形调优法,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化,同时把分层理论用于多层膜帽层优化,可使多层膜的反射率得到进一步提高.分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况.