光伏新材料a-CNx薄膜的光电响应性质

• 作者: 丁正明 刘梅苍 周之斌 崔容强
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氮化碳薄膜 磷掺杂a-CNx 离子束溅射 光电响应
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 400-403
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.04.008

摘要

采用离子束溅射反应沉积技术,以高纯N2为工作气体,利用在不同气压下产生的离子束轰击石墨靶,在石英基片上溅射出的碳原子与氮离子反应,沉积出a-CNx薄膜.在室温下,研究薄膜的暗电导和在卤素光源照射下的光电导、光响应增益、响应时间等性质,以及制备工艺和掺杂、氢化对这些性质的影响及关系.实验结果表明:未掺杂的a-CNx薄膜的光响应增益达18,磷掺杂薄膜的光响应增益为3.0,经过氢化处理的未掺杂a-CNx薄膜的光响应增益为30,光响应时间大约为300s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔容强	上海交通大学物理系太阳能研究所	38	544	14.0	22.0
2	周之斌	上海交通大学物理系太阳能研究所	11	83	5.0	9.0
3	刘梅苍	上海交通大学物理系太阳能研究所	1	2	1.0	1.0
4	丁正明	上海交通大学物理系太阳能研究所	5	45	3.0	5.0