基于散斑强度相关函数的表面粗糙度测量方法

• 作者: 周莉莉 赵学增 郑俊丽
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度测量 散斑图像 强度相关函数
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TH161.14
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.07.015

摘要

激光经过被测表面反射和散射后,通过自由空间传播至观察面上形成散斑图像,其统计分布依赖于被测表面的微观形貌.分析此散斑图像的二阶统计特性,导出了强度变化的相关函数和表面粗糙度参数之间的关系.以表面粗糙平均值Ra分别为0.1μm, 0.2μm, 0.4μm和0.8μm的平磨标准金属样块形成的散斑图像为例,根据强度变化相关函数的离散化定义,计算得到该相关函数值.结果表明,表面越粗糙,散斑越分散,强度变化的相关函数波动越大.因此,该参数可以反映不同的粗糙面,用其作为表征表面粗糙度的特征参数,扩大了测量范围.该方法实验系统简单,对于实际测量环境要求不高,对震动不是非常敏感,适于在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增		133	1496	19.0	30.0
2	周莉莉		6	126	5.0	6.0
3	郑俊丽		3	70	3.0	3.0