三维形貌测量的扫描相移法研究

• 作者: 云大真 司书春 徐建强 王蕴栅 高成勇
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 三维形貌测量 扫描相移法 相移法 光切法
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 1210-1213
• 页数: 4页
• 分类号: O439|TN911.73
• 字数: 2674字
• 语种: 中文

摘要

物体三维形貌测量中常用的光切法的主要优点是易于实现扫描测量大型物体表面,缺点是光刀中心位置难以精确确定;相移法的主要优点是可以用较宽的光栅提高测量的灵敏度与准确度,具有测量速度快和较好的抗静态噪声的能力,缺点是当待测范围较大时,采集图像的像差较大,不利于大型物面的测量.将这两种方法有机地结合起来,取长补短,提出了一种扫描相移法.实验结果表明,这个方法不但适用于长形大物面的形貌检测,而且又大大地减少了图像采集系统畸变误差的影响,从而提高了检测准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高成勇	山东大学物理与微电子学院	18	130	5.0	11.0
2	云大真	大连理工大学工程力学系	28	229	7.0	14.0
3	司书春	山东大学物理与微电子学院	26	209	7.0	14.0
4	徐建强	大连理工大学工程力学系	20	224	7.0	14.0
8	王蕴栅	山东大学物理与微电子学院	1	35	1.0	1.0