V形槽硅微通道冷却器的研制

• 作者: 吕文强 李奇峰 武德勇 蒋全伟 魏彬
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道冷却器 V形槽 二极管泵浦固体激光器 激光二极管阵列 硅 封装工艺 高平均功率 功率密度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 页码范围: 203-204
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.1

摘要

高平均功率的二极管泵浦固体激光器（DPL）要求用于泵浦的二极管阵列功率密度达到1kW／cm^2，由于二极管运行的电光效率只有40％50％，需要高强度的冷却器来对面阵进行冷却。V型槽硅微通道冷却器。结构紧凑，具有较高的冷却能力，可在其V形槽上同时焊接多条bar而形成面阵。从而能大幅提高封装工艺的集成度，降低封装成本，使大规模地封装高功率激光二极管阵列成为可能。