微电子机械系统尺寸效应的泛函分析

• 作者: 刘凯 褚金奎 韩光平
• 来源期刊: 机械设计
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 尺寸效应 泛函分析 灵敏度 微器件
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TH112
• 字数: 4550字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2354.2004.02.006

摘要

尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应,建立了一个尺寸效应的基本数学模型,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析,总结出一些尺寸效应的发生规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘凯		112	569	13.0	16.0
2	韩光平		7	105	7.0	7.0
6	褚金奎		1	7	1.0	1.0