偏振不灵敏硅基二氧化硅阵列波导光栅设计

• 作者: 夏君磊 安俊明 李健 李建光 王红杰 胡雄伟 郜定山
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基二氧化硅 阵列波导光栅 应力 双折射 偏振相关波长 数值分析
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1360-1363
• 页数: 4页
• 分类号: TN814+.6
• 字数: 979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.11.003

摘要

以深刻蚀和热氧化工艺为基础,提出了一种新的阵列波导光栅(AWG)制备技术.这一工艺可使AWG中的波导侧向留有一硅层.采用有限元法和有限差分束传播法分别计算了存在这一硅层时的波导应力分布和有效折射率.结果表明由于这一侧向硅层的存在,使AWG中波导在水平和垂直方向的应力趋于一致,AWG的偏振相关波长明显减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏君磊	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	11	27	3.0	4.0
2	安俊明	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	45	77	5.0	6.0
4	李建光	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	22	67	5.0	6.0
5	王红杰	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	32	93	6.0	7.0
6	李健	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	92	1070	17.0	31.0
7	郜定山	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	13	42	4.0	6.0