溅射法制备纳米薄膜材料及进展

• 作者: 贾嘉
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射法 纳米薄膜 材料制备
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.07.019

摘要

溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能纳米材料的重要手段.本文介绍了离子束溅射和磁控溅射技术的基本原理、方法及其在制备纳米材料中的应用和优点,以国内外这方面的最新进展.文章最后对我国纳米材料今后的应用及发展前景进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾嘉	中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室	10	159	5.0	10.0