应用双电场减小阳极键合过程中MEMS器件可动部件的损伤

• 作者: 徐晨 杨道虹 沈光地
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 阳极键合 双电场
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1249-1252
• 页数: 4页
• 分类号: TN365
• 字数: 434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.10.010

摘要

提出了采用双电场对硅/玻璃进行阳极键合的方法.采用这种方法,能够有效地避免和减少键合过程中的静电力对MEMS器件的可动敏感部件的损伤和破坏,同时实验结果也验证了该方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电子信息与控制过程学院北京市光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电子信息与控制过程学院北京市光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
3	杨道虹	北京工业大学电子信息与控制过程学院北京市光电子技术实验室	11	63	5.0	7.0