Si组分对SiGe量子点形状演化的影响

• 作者: 李志坚 邓宁 陈培毅
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 自组织生长SiGe岛 Si组分 临界体积
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3136-3140
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3929字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.09.058

摘要

研究了自组织生长SiGe岛(量子点)中Si组分对形状演化的影响.采用UHV/CVD方法生长了不同Si组分的SiGe岛,用AFM对其形状和尺寸分布进行了分析,实验结果表明SiGe岛从金字塔形向圆顶形转变的临界体积随Si组分的增大而增大.通过对量子点能量的应变能项进行修正,解释了量子点中Si组分对形状演化的影响.在特定的工艺条件下得到了单模尺寸分布的金字塔和圆顶形量子点.结果表明,通过调节SiGe岛中的Si组分,可以实现对SiGe岛形状和尺寸的控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李志坚	清华大学微电子研究所	84	451	11.0	15.0
2	陈培毅	清华大学微电子研究所	52	245	10.0	12.0
3	邓宁	清华大学微电子研究所	34	145	7.0	10.0