瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法

• 作者: 伍凡 吴时彬 吴永前 田秀云 陈强
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 瑞奇-康芒检验 面形测量 最小二乘法 影响函数
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 23-25,31
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 1230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2004.01.007

摘要

通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面形误差与检验系统波像差之间的相互关系,即影响函数.利用最小二乘法求解一组过定线性方程组,求得被检平面镜的面形误差,拟合出被检平面面形.将其与干涉仪直接测得的面形相比较,发现两种方法得到的结果很接近.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	吴永前	中国科学院光电技术研究所	16	90	5.0	9.0
3	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
4	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0
5	田秀云	中国科学院光电技术研究所	3	38	2.0	3.0