不锈钢衬底的预处理条件对碳纳米管薄膜场发射性能的影响

• 作者: 姚宁 张兵临 杨仕娥 樊志琴 马丙现 鲁占灵
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳纳米管膜 MWPCVD 场发射 Raman光谱
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1349-1354
• 页数: 6页
• 分类号: O462.4
• 字数: 926字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.11.001

摘要

在不同预处理条件的不锈钢衬底上,利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法从甲烷和氢气的混合气体中沉积碳纳米管薄膜,并对其场发射性能进行了研究.实验发现,不锈钢衬底的机械抛光和酸洗,能降低碳纳米管膜的开启场强,增大它的发射电流密度.在场强为6.25V/μm时,衬底未处理样品的电流密度为1.2mA/cm2,而衬底抛光的样品和衬底抛光又酸洗的样品的电流密度分别达到3.2和2.75mA/cm2.衬底只需机械抛光,而不需要酸洗,就能改良碳纳米管膜的场发射性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学材料物理教育部重点实验室	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学材料物理教育部重点实验室	25	166	8.0	11.0
4	杨仕娥	郑州大学材料物理教育部重点实验室	68	513	12.0	18.0
5	马丙现	郑州大学材料物理教育部重点实验室	19	120	6.0	10.0
6	樊志琴	郑州大学材料物理教育部重点实验室	9	77	6.0	8.0