中温化学气相沉积(MT-CVD)工艺技术及超级涂层材料的研究

• 作者: 曾祥才 李建平 马文存 高见
• 来源期刊: 工具技术
• 关键词: MT-CVD HT-CVD TiCN 超级涂层材料
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 字数: 4079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7008.2004.09.016

摘要

采用MT-CVD工艺技术,用CH3CN等含有C/N原子团的有机化合物,在700～900℃沉积组织致密、层间结合强度好、柱状结晶的超级TiCN涂层.研究了沉积温度、压力、不同气体流量等工艺参数对TiCN涂层组织结构及性能的影响规律;分析了超级涂层材料设计机理和结构,给出了在经过改造的高温化学气相沉积(HT-CVD)设备上应用HT-CVD和MT-CVD相结合的新的沉积工艺技术生产超级涂层材料的工艺参数以及超级涂层硬质合金刀片性能测试分析结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平		3	59	3.0	3.0
2	高见		15	224	8.0	14.0
3	曾祥才		7	48	3.0	6.0
4	马文存		3	59	3.0	3.0