基于SOI衬底的射频电感优化设计

• 作者: 张国艳 赵冬燕 黄如
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SOI衬底 电感量 品质因数 自谐振频率
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 702-706
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 字数: 2726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.06.017

摘要

比较了SOI RF电感与体硅电感的性能,并根据模拟结果分析了电感中空面积,电感形状结构,金属宽度、间距对SOI电感品质因数Q、自谐振频率、电感量L的影响,最后提出了一种基于SOI衬底RF电感的优化设计原则.以往射频集成电感性能的比较并不固定电感值,而文中全部参数的变化都是在电感值相同的情况下进行比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国艳	北京大学微电子学研究所	48	187	6.0	12.0
2	黄如	北京大学微电子学研究所	87	413	9.0	17.0
3	赵冬燕	北京大学微电子学研究所	1	2	1.0	1.0