基于微悬臂梁的生化传感器

• 作者: 周嘉 曾磊 黄宜平 黄维宁
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 传感器 微机械敏感层
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 76-80
• 页数: 5页
• 分类号: TP215
• 字数: 5491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2004.06.024

摘要

由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁,通过在其表面修饰以生化敏感层,能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应,配合以信号采集电路和测量系统,能够达到很高的灵敏度和精度.回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程,介绍悬臂梁的工作原理,微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点,总结了世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新动态,并且展望微悬臂梁传感器这一新领域的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学微电子学系	25	123	7.0	10.0
3	黄宜平	复旦大学微电子学系	39	270	10.0	14.0
4	黄维宁	复旦大学微电子学系	6	24	2.0	4.0
5	曾磊	复旦大学微电子学系	4	44	4.0	4.0