软X射线平场光谱仪系统的优化设计

• 作者: 刘运全 张杰 彭晓昱 陈正林
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 软x射线平场谱仪 光路函数 光线追踪
• 年，卷（期）: 2004,（5）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1433-1439
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 3569字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.05.031

摘要

采用光线追踪和光路函数的方法,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领.波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为4-45nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力(λ/△λ＞1000)和空间分辨能力(优于40μm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张杰	中国科学院物理研究所光物理实验室	268	1793	21.0	28.0
2	刘运全	中国科学院物理研究所光物理实验室	7	49	3.0	7.0
3	陈正林	中国科学院物理研究所光物理实验室	6	11	2.0	3.0
4	彭晓昱	中国科学院物理研究所光物理实验室	4	3	1.0	1.0