0.2μm T形栅技术在10Gbps激光驱动电路研制中的应用

• 作者: 刘洪民 刘训春 张海英 王润梅 罗明雄
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs PHEMT T形栅 激光调制驱动电路
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1335-1337
• 页数: 3页
• 分类号: TN386
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.10.028

摘要

0.2μm T形栅制作技术在100mm GaAs激光驱动电路芯片研制中获得了成功的应用.优化的栅制作工艺保证了形貌良好的栅线条,获得了优良的晶体管直流参数和高频性能.栅工艺重复性好,整片内器件性能均匀一致,确保了电路的成功研制.实际电路测试结果表明,在100mm GaAs片上制备的PHEMT驱动电路的芯片测试合格率达到70%以上,可靠性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海英	中国科学院微电子研究所	114	574	11.0	17.0
2	刘训春	中国科学院微电子研究所	43	222	9.0	11.0
3	罗明雄	中国科学院微电子研究所	5	20	3.0	4.0
4	刘洪民	中国科学院微电子研究所	7	69	5.0	7.0
5	王润梅	中国科学院微电子研究所	15	78	6.0	8.0