AIGaN紫外光电导探测器的研究

• 作者: 王峰祥 郝跃
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: AlGaN 光电导探测器 紫外光 PPC
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 新型电子器件
• 页码范围: 1-2,5
• 页数: 3页
• 分类号: TP368.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-373X.2004.06.001

摘要

在蓝宝石(0001)衬底上采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法生长了未掺杂的Al0.15Ga0.85N外延层,并以此为材料制作了光电导探测器,实验发现探测器具有显著的紫外光响应.分析了探测器持续光电导效应(PPC)的产生机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子研究所	312	1866	17.0	25.0
2	王峰祥	西安电子科技大学微电子研究所	5	22	4.0	4.0