基于阳极键合干法刻蚀技术的MEMS隧道加速度计的加工及测试

• 作者: 李婷 王颖 董海峰 贾玉斌 郝一龙 闫桂珍
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 隧道效应 加速度计 微机电系统
• 年，卷（期）: 2004,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1606-1611
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 2277字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.12.012

摘要

提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺,用来加工微型隧道加速度计.采用HP4145B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试,验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系.实验结果外推出的隧道势垒的范围为1.182～2.177eV.大部分器件的开启电压在14～16V之间.在-1,0和+1g三种状态下对开启电压分别进行了测试,得到加速度计的灵敏度约为87mV/g.