Ti/N粒子沉积能量对氮化钛薄膜表面层微结构的影响

• 作者: 张沁 马忠权
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 化学
• 关键词: TiN薄膜 平均沉积能 薄膜微结构
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: O6
• 字数: 4202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2004.01.010

摘要

用直流(d.c)反应磁控溅射沉积技术、X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜成像(TEM)微结构分析方法, 研究了氮化钛薄膜表面层固态结构随凝聚增原子能量的变化情况. 发现沿(111)和(002)晶面方向择优生长的TiNx层的点阵参数(a0)与衍射峰半高宽(FWHM)的变化和载能束引起薄膜微观相成分、晶面内压应力、晶粒尺寸和结构缺陷密度紧密相关. 在新的理论框架下, 分别计算了氮化钛薄膜表面上每个凝聚原子的有效迁移, 薄膜表面达到最小能量状态时每个凝聚原子应该获得的平均能. 实验观察的结果在理论分析中得到了定量解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马忠权	上海大学物理系	25	87	5.0	8.0
2	张沁	上海大学化学系	3	2	1.0	1.0