射频等离子体沉积非晶碳氢薄膜及其阻隔性能

• 作者: 张广秋 张跃飞 王瑜 葛袁静 陈光良
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体化学气相沉积 碳氢膜 阻隔性能
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: TQ326.3|O484.1
• 字数: 3204字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3563.2004.04.071

摘要

采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积系统,,以甲烷和氩气作为工作气体在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)片和玻璃片基上沉积了非晶碳氢薄膜,利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)对碳氢薄膜的结构进行研究,并且通过透水蒸汽相对比较实验检测了PET上沉积碳氢膜的阻隔性能,详细讨论了沉积工艺参数对碳氢薄膜结构和阻隔性能的影响.实验结果证明,沉积的薄膜越厚,碳氢膜的含量越高,阻隔性能越好,沉积碳氢膜的PET阻隔性比原始PET都有明显提高,当膜厚达900nm时,阻水蒸汽透过率可提高7倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛袁静		27	150	8.0	10.0
2	张跃飞		41	237	9.0	13.0
3	张广秋		32	119	6.0	9.0
4	王瑜		15	87	5.0	9.0
5	陈光良		5	26	3.0	5.0