斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术

• 作者: 刘新福 孙以材 张艳辉 陈志永
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针技术 电阻率测量 游移 Rymaszewski测试法
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 682-686
• 页数: 5页
• 分类号: TN307
• 字数: 3025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.06.013

摘要

介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论.应用此测试方法得到了75mm的全片电阻率分布的mapping图,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性,是一种行之有效的测量方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子所	39	354	9.0	17.0
3	陈志永	河北工业大学微电子所	5	80	4.0	5.0
4	张艳辉	河北工业大学微电子所	8	48	3.0	6.0