四探针技术测量薄层电阻的原理及应用

• 作者: 刘东升 刘新福 孙以材
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针技术 薄层电阻 测试技术
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 封装与测试技术
• 页码范围: 48-52
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.07.013

摘要

对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子技术研究所	117	1247	18.0	31.0
2	刘新福	河北工业大学微电子技术研究所	39	354	9.0	17.0
3	刘东升	河北工业大学微电子技术研究所	11	159	4.0	11.0