MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用

• 作者: 张剑铭 徐晨 杨道虹 沈光地 阳启明
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 红外探测器 非制冷
• 年，卷（期）: 2004,（10）
• 所属期刊栏目: 专题报道(纳米电子与MEMES技术)
• 页码范围: 27-30,34
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3424字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2004.10.009

摘要

随着微探测器的广泛应用,MEMS技术因其微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,被越来越多地应用于微探测器的制造工艺中,为该领域的研究提供了新途径.本文简要介绍了MEMS技术的工艺及其主要特点,并对MEMS技术在非制冷红外探测器研制方面的应用作了比较详细的阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晨	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	63	295	9.0	13.0
2	沈光地	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	192	1444	18.0	29.0
3	阳启明	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	3	18	3.0	3.0
4	张剑铭	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	11	85	6.0	9.0
5	杨道虹	北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室	11	63	5.0	7.0