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摘要:
本文分别采用磁控溅射方法、旋涂法及烧结工艺制备了铂电阻温度传感器、聚酰亚胺电容式湿度传感器及氧化锆氧气敏传感器,用MCM技术对可用于检测室内温度、湿度及氧气浓度的组合传感器进行了结构设计,并对制备的温度传感器、湿度传感器及氧气敏传感器的特性进行了测试和讨论.
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文献信息
篇名 环境检测与控制用组合传感器研究
来源期刊 电子测量与仪器学报 学科
关键词 温度传感器 湿度传感器 氧气传感器 组合传感器
年,卷(期) 2004,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-24
页数 4页 分类号
字数 1710字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 蒋亚东 电子科技大学光电信息学院 318 2024 18.0 25.0
2 谢光忠 电子科技大学光电信息学院 48 408 10.0 18.0
3 杨邦朝 电子科技大学微电子与固体电子学院 253 3422 31.0 49.0
传播情况
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2004(0)
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研究主题发展历程
节点文献
温度传感器
湿度传感器
氧气传感器
组合传感器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子测量与仪器学报
月刊
1000-7105
11-2488/TN
大16开
北京市东城区北河沿大街79号
80-403
1987
chi
出版文献量(篇)
4663
总下载数(次)
23
总被引数(次)
44770
论文1v1指导