微机械薄膜热膨胀系数的测试结构

• 作者: 张宇星 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热膨胀系数 薄膜 微结构 MEMS
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 387-390,393
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.07
• 字数: 3984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.z1.136

摘要

在微电子机械系统(MEMS)领域,薄膜的热膨胀系数对于微电子器件、MEMS器件,尤其是微热执行器的设计是一个十分重要的参数.本文详细介绍和分析了薄膜热膨胀系数的几种测试结构,对于微机械薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计有一定的参考价值.