SmCo薄膜的不均匀晶化及其磁性能

• 作者: 宋晓平 李晓园 祝要民 陈强
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: SmCo薄膜 晶化 显微组织 磁性能
• 年，卷（期）: 2004,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 587-590
• 页数: 4页
• 分类号: TM273
• 字数: 2521字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-0609.2004.04.012

摘要

采用不同的磁控溅射和回火工艺制备了SmCo磁性薄膜.用能谱仪对不同工艺溅射的样品进行了化学成分分析; 用透射电子显微镜和振动样品磁强计(VSM)研究了薄膜的显微结构和磁性能.结果表明: 溅射态的薄膜为非晶态并具有软磁特征; 当回火温度位于400～ 450℃之间时, 薄膜的微观组织均匀细小, 且随着回火温度增加, 矫顽力增大, 并在450℃回火的样品中得到了最大的矫顽力.回火温度500℃后, 薄膜微观组织中晶粒出现了不均匀粗化, 矫顽力明显降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋晓平	西安交通大学理学院	108	901	17.0	24.0
2	祝要民	西安交通大学理学院	47	281	10.0	13.0
6	陈强	西安交通大学理学院	42	267	11.0	14.0
7	李晓园	西安交通大学理学院	7	20	3.0	4.0