用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能研究

• 作者: 李洪涛 李美成 王银玲 赵连城
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒 相变 红外吸收特性 热稳定性
• 年，卷（期）: 2004,（z1）
• 所属期刊栏目: 热功能材料及其应用
• 页码范围: 1604-1607
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 3464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.449

摘要

采用磁控溅射方法在p-Si(100)衬底上制备了VO2和择优取向的V6O13混合相成分的薄膜.利用X射线衍射(XRD)分析、原子力显微镜(AFM)、傅立叶红外光谱(FT-IR)分析及四探针测试方法,研究了薄膜的相成分和红外吸收特性,并测试分析了薄膜的电学热稳定性.研究结果表明,通过这种方法制备的氧化钒薄膜具有较低的电阻率和较高的电阻温度系数(TCR),并且具有良好的热稳定性,可以作为微测辐射热计的热敏材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵连城	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	107	1153	16.0	29.0
2	李洪涛	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	26	109	6.0	9.0
3	李美成	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	29	200	8.0	13.0
4	王银玲	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	3	33	2.0	3.0