丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究

• 作者: 刘赤子 张谷令 杨思泽 杨武保 王久丽 范松华
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 ECR微波等离子体 丙酮气氛 红外光谱
• 年，卷（期）: 2004,（9）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 3099-3103
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.09.052

摘要

利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体辅助化学气相沉积技术、工作气氛为丙酮,在光学玻璃衬底上得到了光滑、致密、均匀的类金刚石薄膜.在工艺研究中,对等离子体中氧的存在及其作用进行了分析.原子力显微镜分析表明,薄膜的表面粗糙度小于10nm,晶粒尺寸约为100nm.拉曼光谱和中红吸收谱研究发现,薄膜具有强烈的荧光效应,含有sp1,sp2,sp3杂化C-C, sp3杂化CH3,羰基CO、含氧多元环以及-COOH基等.利用纳米力学探针以及近红区红外透射谱分析了薄膜的力学及光学性能,结果表明,薄膜的显微硬度接近4GPa,体弹性模量约为11GPa;薄膜在近红区完全没有吸收峰,折射系数为1.576;根据薄膜干涉花样,计算薄膜的沉积速率为460nm/h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范松华	中国科学院物理研究所	7	84	5.0	7.0
2	刘赤子	中国科学院物理研究所	12	170	8.0	12.0
3	张谷令	中国科学院物理研究所	12	156	7.0	12.0
4	王久丽	中国科学院物理研究所	6	85	5.0	6.0
5	杨思泽	中国科学院物理研究所	34	349	11.0	17.0