基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计

• 作者: 张博军 方震 武宇 赵湛 陈超
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有限元分析方法 计算机模拟 MEMS技术 湿度传感器
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器——第八届敏感元件与传感器学术会议论文选登
• 页码范围: 10-11,14
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2004.03.004

摘要

基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点,并可大大提高器件的一致性、可靠性,易形成批生产能力.本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性,然后利用有限元分析方法对湿度传感器进行了结构建模,并模拟铂电阻的升温与空气湿度的变化关系曲线.在此分析基础之上,得出测量绝对湿度的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈超	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	46	435	13.0	19.0
2	赵湛	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
3	方震	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	32	605	8.0	24.0
4	张博军	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	29	3.0	5.0
5	武宇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	20	2.0	2.0