纳米Si-SiOx和Si-SiNx复合薄膜的低温制备及其发光特性

• 作者: 刘澂 王永谦 纪爱玲 马利波
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体增强化学气相沉积 冷衬底 硅纳米颗粒 光致发光
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、热学和力学性质
• 页码范围: 3818-3822
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 3626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.11.036

摘要

用等离子体增强化学气相沉积法在低温(低于50℃)衬底上沉积Si-SiOx和Si-SiNx复合薄膜,可得到平均颗粒尺寸小至3nm的高密度(最高可达4.0×1012cm-2)纳米硅复合薄膜.500℃快速退火后,这种复合薄膜显现出优异的可见光全波段光致发光特性.通过比较相同条件下所制备的纳米Si-SiOx和Si-SiNx复合薄膜的光致发光效率,发现纳米Si-SiNx具有更为优异的光致发光效率,这一点在可见光短波区表现得尤为显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马利波	中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室	2	5	1.0	2.0
2	王永谦	中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室	9	59	5.0	7.0
3	纪爱玲	中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室	7	86	5.0	7.0
4	刘澂	中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心表面物理国家重点实验室	2	110	2.0	2.0